Кристалл танталата лития и его применение - 09

3 Основное применение кристалла танталата лития

3.1 Фильтр ПАВ-волн

Ян Цин Жуй и другие разработали резонаторный ПАВ-фильтр с использованием LiTaO ₃/SiO ₂/Si.  субстрат. На рисунках 3 и 4 представлены оптические фотографии устройства и частичные изображения устройства, полученные с помощью сканирующей электронной микроскопии, соответственно. Встречно-штыревые электроды аппарата на снимке четкие, слипания не видно. Позже они будут проанализированы и оптимизированы. 

Видно, что увеличение количества пар электродов или апертуры электродов резонатора может улучшить КПД самого устройства, а количество пар электродов оказывает большее влияние на производительность .  И на резонаторе с такой же статической емкостью,  более низкое значение  чем отношение апертуры электродов к числу пар электродов, тем выше КПД аппарата . Коэффициент электромеханической связи сначала увеличивается, а затем уменьшается по мере увеличения периода электрода.

Кимура  Т и др. исследовали применимость устройства на акустических волнах с использованием встречно-штыревого преобразователя, размещенного на тонкой пьезокристаллической пластине на частоте от 3 до 5 ГГц, при этом характеристики устройства на ПАВ значительно падали. Это доказывает, что добротность Q  композитного структурного слоя с использованием LiTaO ₃/SiO ₂/Si в 3-4 раза выше, чем с использованием 42° Y - X  ЛитаО ₃  (42-LT) сыпучий материал. С помощью шагового сканера KrF были изготовлены три типа пилообразных устройств, и их характеристики сравнивались во всех аспектах: резонатор 3,5 ГГц, соединенный с кремниевой подложкой с помощью вращающейся платы LiTaO3 с V-образным вырезом; Резонатор 5 ГГц на плате X-cut-LiNbO3; независимый резонатор режима А1-Лэмба 5,4 ГГц на Z-cut-LiNbO ₃  (www.wisoptic.com) . Результаты показывают, что эти устройства также имеют отличную производительность на частоте 3–5 ГГц. Фу Чен и другие использовали программное обеспечение ANSYS для проведения конечно-элементного анализа 36° YX -LiTaO _3.  (www.wisoptic.com) и разработал общий и эффективный метод анализа резонаторов вытекающих волн. Кадота Мичио и др. разработал ПАВ-резонатор, использующий горизонтальные поперечные волны (SH), заключенные в тонкий слой танталата лития, поддерживаемый кварцевой (Qz) подложкой. Измеренное соотношение импедансов достигло 84 дБ. С другой стороны, благодаря уникальной природе кварца, паразитные волны, кроме СВСАВ, не удерживаются в слое LT, что приводит к появлению характеристик без паразитных составляющих в широком диапазоне частот. Ян  Сюн  Шуо и др. использовали технологию сфокусированного ионного пучка (FIB) для изготовления высококачественного пленочного LT-резонатора LT-на-изоляторе (LTOI). Микродиск LTOI достиг выходной мощности второй гармоники 2 мкВт при входной мощности 500 мВт. При этом в устройстве также наблюдалась каскадная генерация третьих гармоник.