Кристалл танталата лития и его применение - 08

3 Основное применение кристалла танталата лития

3.1 Фильтр ПАВ-волн

Пэн и др. использовано ионное травлениекпроцесс танталат лития(ЛТ)кристаллыполучить кристаллический резонатор с высокой основной частотой. Они использовали этот кристаллический резонатор для разработки широкополосного высокочастотного фильтра, что улучшило рабочую частоту и надежность фильтра, а также увеличило количество полос пропускания фильтра, обеспечивающее высокую температурную стабильность и низкие вносимые потери фильтра. Результаты испытаний этого фильтра показывают, что кристалл танталата лития, обработанныйион травлениеможет увеличить верхний предел рабочей частоты фильтра. Если процесс ионного травленияприменяемый Используя кристаллическую пленку танталата лития нанометрового уровня с частотой более 2 ГГц, можно получить монокристаллический тонкопленочный резонатор объемных акустических волн с большой полосой пропускания и хорошим температурным коэффициентом. Чжани другие. оптимизировал процесс ионного травления и использовал прерывистое ионно-лучевое травление дляпроцесс кристаллы танталата лития, которые позволили избежать проблемы микротрещин в области травления и успешно снизилитолщина вафлиот60 мкмк30 мкм. А С помощью этой пластины был изготовлен широкополосный кристаллический фильтр из танталата лития с высокой основной частотой и центральной частотой 70 МГц и полосой пропускания 3 дБ 1109 кГц. Цао Янсделал фильтры SAWнасв технология трафаретной печати и чернила-реактивный самолетпечать на трех материалах: кварц, ниобат литиякристалл (LN Crystal, www.wisoptic.com)и танталат литиякристалл. После завершения подготовки сравнивали его пьезоэлектрические характеристики и одновременно тестировали работу фильтра. Результаты тестирования морфологии и электрических характеристик фильтра показывают, что фильтр SAW, изготовленный с использованием ниобата лития и танталата лития в качестве пьезоэлектрических подложек, может удовлетворить потребности использования. Руби и др. разработал новый типкремниевый ПАВ-фильтрсвязывая лтанталат итияк Гибридная подложка на основе кремния, которая обеспечивает температурную компенсацию, хорошие характеристики энергопотребления и устраняет паразитные моды, генерируемые между интерфейсом LT/Si. Одним из преимуществ этой технологии является то, что в одну форму можно интегрировать как можно больше фильтров, что демонстрирует присущие им характеристики высококачественных поверхностных акустических волн с температурной компенсацией и экономит как стоимость, так и площадь. Ву и др. изучил устройство на поперечных горизонтальных поверхностных акустических волнах с превосходной температурной стабильностью и низкими потерями на ультратонком корпусе.ИПленка танталата лития, ориентированная под углом 42°, на сапфировой подложке, с резонансной частотой 1,76 ~ 3,17 ГГц итотэффективная электромеханическая муфтакоэффициент составляет 5,1% ~ 7,6%. Фильтр с центральной частотой 3,26 ГГц имеет подавление паразитных сигналов в полосе пропускания, полосу пропускания 3 дБ 3% и минимальные вносимые потери 2,39 дБ. Кроме того, на 25-й неделе было проведено сравнение копланарных волноводов и ПАВ-резонаторов, построенных на пленках танталата лития и подложках танталата лития.°С до 150°С. После испытаний при 150°C импеданс пленочного фильтра из танталата лития снизился до 3,7 дБ, в то время как затухание импеданса фильтра с подложкой из танталата лития достигло 9,6 дБ, что указывает на то, что подложка пленочного фильтра из танталата лития имеет превосходные радиочастотные характеристики.под различнымитемпература.

Резонатор является основным элементом фильтра, и его характеристики оказывают большое влияние на производительность фильтра. Поскольку к терминалам связи предъявляются все более высокие требования к характеристикам фильтров, широко используются фильтры на ПАВ резонаторного типа, поскольку они могут решать такие проблемы, как малый размер, низкое энергопотребление и низкие вносимые потери. Основным компонентом схемы ПАВ-фильтра резонаторного типа является резонатор. ПАВ, возбуждаемая встречно-штыревым преобразователем, отражается вперед и назад между двумя отражающими решетками, образуя резонанс. Регулируя резонансную частоту и антирезонансную частоту резонатора, можно получить фильтр нижних частот , фильтр верхних частот , полосовой фильтр или полосовой фильтр . Резонатор может увеличить резонансную частоту и центральную частоту фильтра и уменьшить внеполосное подавление фильтра. Рабочая частота ПАВ-фильтра резонаторного типа обычно составляет 10 МГц–1 ГГц, а вносимые потери составляют 1–5 дБ.