Отслеживание и понимание событий лазерного повреждения в оптике — часть 11

3.3 Лазерная предварительная обработка   диэлектрическая пленка  большого диаметра

Технология лазерной предварительной обработки является последним процессом перед поставкой деталей большого диаметра с диэлектрической пленкой   в устройствах NIF в США. LLNL предоставляет устройство предварительной  лазерной обработки и   характеристики   каждому их поставщику тонкопленочных компонентов . Для диэлектрической пленки роль предварительной лазерной обработки заключается в удалении оставшихся узелков и дефектов после оптимизации процесса нанесения покрытия, что является очень важной гарантией крупномасштабной инженерной поставки диэлектрических покрытий   компонентов ||| | с большими   диаметр. Одной из целей  является устранение дефектов и улучшение способности противостоять повреждениям. Другая цель состоит в  полной оценке того, соответствует ли тонкопленочный элемент требованиям конечного рабочего потока в лазерной системе.

В настоящее время для производства применяется технология лазерной предварительной обработки   передающего зеркала (TM), коленчатого зеркала (ZJ) и поляризатора (PL) в Китае и стал последним процессом в производстве   диэлектрических пленок большого диаметра. Размер ТМ  составляет 610 мм×430 мм×85 мм, а размер поляризатора и коленчатого зеркала 810 мм×430 мм×90 мм. Стойкость компонентов к лазерному повреждению после предварительной лазерной обработки показана на рис. 15. Порог функционального повреждения передающего зеркала достигает 30 Дж/см ² (1064 нм, 5 нс), а порог функционального повреждения локтевого зеркала и поляризатор достигает 14 Дж/см ² (1064 нм, 5 нс).

Состояние поверхности диэлектрической пленки после предварительной лазерной обработки показано на рис. 16, где масштаб ямок не превышает 15 мкм, латеральный масштаб плазменной абляции не превышает 300 мкм, а глубина ir  по вертикали не превышает превышать 30 нм. На основе текущего состояния поверхностной плазменной абляции после лазерной предварительной обработки диэлектрической пленки было смоделировано и проанализировано влияние диэлектрической пленки с большой апертурой на качество пучка после предварительной обработки. Лучевым эффектом можно пренебречь, как показано на рис. 17 (а) и (б). Влияние лазерной предварительной обработки на PSD2 было проанализировано с помощью профилометра, и результаты показали, что PSD2   увеличился после предварительной обработки, но все еще находился в пределах требуемого диапазона 1,1 нм, как показано на рисунке 17 (c).

 Можно увидеть, что процесс предварительной лазерной обработки не окажет значительного влияния на качество луча, улучшая при этом способность компонента противостоять разрушению. Следует отметить , что данные , показанные красным цветом на Рисунке 15 , означают , что эти три компонента были подтверждены в процессе предварительной лазерной обработки   чтобы не соответствовать требованиям  проектного   потока   в мощной лазерной системе, поэтому они не будут использоваться.